沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留處理方法有哪些？由于VOCs在使用過(guò)程中在滾筒內(nèi)的殘留，會(huì)造成沸石轉(zhuǎn)輪劣化，處理效率降低，應(yīng)如何避免和應(yīng)對(duì)這樣的情況？

　　減少沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)VOCs殘留量，主要是通過(guò)改善VOCs廢氣的進(jìn)氣質(zhì)量和提高脫附效率來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

　　

　　1.廢氣的預(yù)處理

　　煙氣預(yù)處理措施一般有除塵、除濕、除霧和高沸物去除等。根據(jù)所處理VOCs廢氣的實(shí)際情況，需要選擇合適的廢氣預(yù)處理措施。例如，半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所的微粒要求很高，而生產(chǎn)場(chǎng)所通常是潔凈車(chē)間。所以，有機(jī)廢氣中微粒含量很低，一般不需要進(jìn)行除塵預(yù)處理。

　　2.在芯片制造過(guò)程中所用的主要有機(jī)原料一般都是低沸點(diǎn)，易揮發(fā)的，但也不排除有少量的高沸點(diǎn)物質(zhì)，如脫液主成分二甘醇胺(沸程218~224℃)等。為避免VOCs廢氣中難脫附的高沸物進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪，可在高沸物處理工序中增加冷凝、前道活性炭吸附等預(yù)處理設(shè)備。

　　無(wú)錫碳投環(huán)境有限公司高沸點(diǎn)VOCs容易在進(jìn)入排氣管后冷凝，從而增加了廢氣的濕度。如果有機(jī)廢氣的含水量在80%以上時(shí)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)，會(huì)對(duì)疏水沸石分子篩產(chǎn)生較大的影響。建議在高濕度廢氣中增設(shè)干燥除濕預(yù)處理裝置，使進(jìn)入污水處理廠的廢氣濕度保持在穩(wěn)定可控范圍內(nèi)。